桌上型无氧烘箱 实验高温无氧固化炉

桌上型无氧烘箱 实验高温无氧固化炉

   桌上型无氧固化炉是一种专为高精度电子元件、IC/芯片、PI/BCB/CPI/BPO等胶水等材料设计的紧凑型固化设备，结合无氧环境与高效加热技术，确保材料在固化过程中避免氧化。以下是相关产品的综合信息：

一、‌产品类型与特点‌

1. ‌真空无氧固化炉‌

2. 采用真空环境与充氮技术，确保无氧条件，适用于PI胶、BCB胶等高精度材料固化‌。

3. 支持PLC全自动控制，温度范围可达400℃以上，内胆采用SUS304/316不锈钢材质，确保洁净度与耐用性‌。
   

4. ‌智能型无氧烘箱‌

5. 集成智能烘箱管理系统，支持TCP/IP协议对接工厂系统，实现自动化烘烤‌。

6. 洁净等级高，含氧量可控制在10ppm以下，适合IC晶圆、MEMS等无尘环境应用‌
   

7. ‌小型桌面型设备

8. 紧凑设计，实验专用。

   使用微量氮气，耗气量更低，无需冷却水。

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二、‌核心参数与配置‌

• ‌适用产品：1-8寸晶圆、方片或碎片

• 温度控制‌：RT+50–400℃

• 温度波动度：≤±1℃
  

• 氧含量：含氧量可低至10ppm以下‌，配备进口氧含量分析仪实时监测

• 升温速率：1-10℃/min,速率可调

• 升温方式：多段程控式，支持20段程序升温

• 降温速率：辅助降温

• 真空度：≤ 1torr
  

• ‌气体系统‌：自动控制充氮阀门+可调式流量计

• 排 气 口：KF16
  真空泵：涡旋干泵（进口）
  

• ‌结构设计‌：内胆为优质不锈钢，全周氩弧焊无缝处理，外箱保温材料超细陶瓷纤维

  操作界面：人机界面+PLC，可一键运行，多个工艺编辑

三、‌典型应用场景‌

• ‌电子制造‌：IC封装、晶圆固化、指纹识别模组等无氧环境下的胶水固化‌。

• ‌精密材料‌：PI胶、BCB胶、导电胶的真空无氧固化，避免氧化导致的性能劣化‌。

• ‌实验室研发‌：小型桌面设备适合实验室小批量样品处理，快速干燥‌。

桌上型无氧烘箱 实验高温无氧固化炉供应商上海隽思仪器