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选择HMDS烘箱注意事项

发布时间:2022-04-13   点击次数:103次
  1. 选择HMDS烘箱的容积

    内腔尺寸:450*450*450mm,1-8寸片均适用,4寸晶圆可处理200P/次;

  2. HMDS烘箱真空泵的选择

    根据腔体容积,选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。


◆ 全无油泵,不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧 
◆ 具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆ 低噪声,低振动

3.HMDS烘箱辅助功能选择:

◆HMDS药液泄漏报警提示功能

◆HMDS低液位报警提示功能

◆工艺数据记录功能

◆药液管道预热功能 

程序锁定保护等功能


   HMDS烘箱有称为智能型HMDS真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。


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