选择HMDS烘箱注意事项

更新时间：2022-04-13

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◆ 全无油泵，不会污染真空系统

◆ 采用独立马达与轴承的密封设计

◆ 体积小巧

◆ 具有更低的极限压强

◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆ 低噪声，低振动

3.HMDS烘箱辅助功能选择：

◆HMDS药液泄漏报警提示功能

◆HMDS低液位报警提示功能

◆工艺数据记录功能

◆药液管道预热功能

◆程序锁定保护等功能

HMDS烘箱有称为智能型HMDS真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。