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  • JS-HMDS全自动HMDS预处理系统
    全自动HMDS预处理系统:带有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。
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    更新日期

    2025-09-16
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  • JS-HMDS晶圆HMDS烤箱预处理系统
    晶圆HMDS烤箱预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
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    2025-09-16
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  • HMDS预处理烘箱
    HMDS预处理烘箱处理更加均匀,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性.
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    2025-09-16
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