光伏电池片HMDS处理系统,HMDS预处理烘箱就是涂胶前要进行增粘处理。由于衬底表面吸水特性,使疏水的光刻胶无法与亲水的晶圆表面结合良好。未经过HMDS表面处理的晶圆在后道工艺中容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱无油泵真空干泵具有静音(50dBA)和低振动运行的, 密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。
HMDS专用烘箱,HMDS真空涂胶系统适用行业:MEMS、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。
HMDS蒸镀烤箱,可程式HMDS机台通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业
芯片HMDS预处理,可编程HMDS通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。