抗粘剂涂胶机,抗粘 剂真空预处理系统用于半导体,光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料,如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。
氮气烘箱,四箱氮气烤箱,不锈钢充氮烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
匀胶机,可程式匀胶 机用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
智能型烤胶机,自动烤胶台适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
无氧化恒温热板,氮气保护加热台用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、硅片高温退火,电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,形成高温、低氧(无氧),特别适合半导体制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、医疗卫生、柔性穿戴技术研发、精密模具退火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。