智能型无尘无氧烘箱、厌氧洁净烘箱应用于精密电子元件、PI、BCB 胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、无尘烘干的特殊工艺要求

HAST高压老化寿命试验箱，高加速温湿度机台用于评估非气密性封装IC器件、金属材料等在湿度环境下的可靠性。通过温度、湿度、大气压力条件下应用于加速湿气的渗透，可通过外部保护材料（塑封料或封口），或在外部保护材料与金属传导材料之间界面。它采用了严格的温度，湿度，大气压、电压条件，该条件会加速水分渗透到材料内部与金属导体之间的电化学反应。

高加速温湿度试验机，高压加速老化试验箱主要用于对电工、电子产品、半导体、IC芯片、固态存储器、DRAM、闪存卡及模块、元器件、零部件、金属材料、塑料晶体管外形封装等产品测试。

高精度加热台，精密热板用于固化光刻胶，固化环氧塑脂，可用于显微镜下使用以及其它需要高精度控温的场合等。适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路模块的涂敷烧结和考核等工艺。

电容烘箱，可程式工业烘箱技术先进、设备性能稳定、使用可靠，操作简单，维修方便，同时考虑 方案的经济性和可实施性，结合试品特点和试验程序实际情况，实现低投入高产出。

充氮PI烤箱，PI充氮烤箱用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求，广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。

晶圆退火烤箱，500度退火氮气烘箱晶圆退火需进行升温处理，升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护，该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。