无氧烘箱，智能无氧双层烘箱可选用条形码上传IT后，接收由IT比对下载制程数据或直接接收IT所下载制程数据方式，系统并自动将制程写入温控器，达到远程制程下载，避免人员制程选择操作错误问题；

小型恒温恒湿箱，半导体高低温湿热试验箱可以用来确认产品在温湿度气候环境条件下储存、运输以及使用适应性。

真空无氧烘箱，高温无氧真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合材料预处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。

充氮烘箱，充氮洁净烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。

全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS烘箱主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中HMDS增粘剂涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。

冷热冲击测试机，冷热循环气流仪在短的时间内（约10秒）检测样品因高低温冷热冲击（）-65℃～220℃）所引起的化学变化和物理伤害，减少测试与验证时间，快速提高产品研发和生产效率。广泛应用于通信、半导体、芯片、传感器等领域。

快速热处理退火炉，半导体RTP快速退火 炉可用于硅及其他化合物材料离子注入后的退火，硅化物形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。该设备具有很好的长时间工作稳定性以及快速升降温，慢速升降温功能