无尘烘箱,无尘固化烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
百级无尘烤箱,100级洁净烤箱适用于IC可靠性试验,IC封装,光刻胶固化,电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
HMDS预处理系统产生的HMDS尾气处理设备,HMDS废气净化系统将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。从而产生的尾气需要净化处理后才可排放在大气中。
工业烤箱,半导体干燥烘箱工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及蜂鸣电路,控制可靠,使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
氮气烤箱,充氮洁净烤箱用于IC封装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板、高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.