微型高低温箱,IC用高 低温测试箱适用于IC,PCB板、晶圆,可控硅,半导体,电阻、电容、电工、电子产品、家用电器、汽摩配件、化工涂料、各种电子元器件及其他相关产品零部件在高温、低温环境下贮存、运输、使用时的适应性试验,考核其各项性能指标。可单独做高温、低温;也可用于高温、低温的循环试验。
无尘烘箱,无尘固化烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
百级无尘烤箱,100级洁净烤箱适用于IC可靠性试验,IC封装,光刻胶固化,电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
HMDS预处理系统产生的HMDS尾气处理设备,HMDS废气净化系统将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。从而产生的尾气需要净化处理后才可排放在大气中。
工业烤箱,半导体干燥烘箱工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,并附设有超温自动停电及蜂鸣电路,控制可靠,使用安全。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。