坚膜烘箱，真空坚膜烤箱

坚膜烘箱，真空坚膜烤箱的用途：

   坚膜烘箱用于半导体制造中半导体衬底片、硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料显影后坚膜烘烤；也适用于涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤以及电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

1、*蒸发掉光刻胶里面的溶剂（以免在污染后续的离子注入环境，例如DNQ酚醛树脂光刻胶中的氮会引起光刻胶局部爆裂）；

2、以提高光刻胶在离子注入或刻蚀中保护下表面的能力；

3、进一步增强光刻胶与硅片表面之间的黏附性；

4、进一步减少驻波效应。

坚膜烘箱，真空坚膜烤箱主要参数：

洁净度：百级；

电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率：2000W

温度范围：RT+10℃-250℃

温度分辨率：0.1℃

温度波动度：±0.5℃

达到真空度：133Pa（可选择热风循环烤箱）

工作室尺寸（mm）：450*450*450

搁板层数：2层

设备采用先进成熟的设计思想，制造技术。
设备在具有优良的品质，即可靠性要高，使用寿命长。
设备具有良好的操作性，方便的维修性，可靠的安全性。

使用注意事项：

1、烘烤不足，会减弱光刻胶的强度（抗刻蚀能力和离子注入中的阻挡能力）；降低针孔填充能力；降低与基底的黏附能力。

2、烘烤过度，引起光刻胶的流动，使图形精度降低，分辨率变差。