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无尘烘箱,100级洁净烘箱

无尘烘箱,100级洁净烘箱

简要描述:

无尘烘箱,100级洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

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无尘烘箱,100级洁净烘箱用途:

  无尘烘箱,100级洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

特点:

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;

4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到极高温度控制精度。

技术参数:

1、主要技术指标:

 无尘等级:Class 100;     

 温度范围:RT+10~200℃;

 温度均匀度:±2℃;    

 温度波动度:±0.5℃(空载)        

 温控精度:±0.1℃;        

 工作室尺寸:W600×D600×H500(mm) 可自定内部尺寸        

 电源:380v , 50Hz,5KW    

 网板:2块(高度可调节)

 洁净度100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风速距离。

M计装可编程控制1模式20步骤,zui多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。

简单操作的标准计装

标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止等可设定动作的程序运行。标准配置温度过升防止器。 

2、箱体结构:

外壳材料:外箱采用SUS304不锈钢或 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘

内胆材料:优质洁净T1.5mmSUS304#镜面不锈钢或国标镜面不锈钢材质,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤产生 PARTICLE;

活动层板:配置2层承重型不锈钢冲孔拖盘,可根据实际需要增加

保温风道:厚度100毫米硅酸铝保温棉或高密度耐高温玻璃纤维,保温隔热性能好

3、门式结构:

数 量:单开门

厚 度:100毫米硅酸铝保温棉(高温棉),局部加强安装铰链和拉手

门 扣:迫紧式压力把手,美观,硅酸铝纤维密封棉条,密封性好,寿命长

4、循环系统:

循环系统:强制水平送风循环,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后热风吸入风道成为源再度循环加热,由此减小能量损耗并保证箱内的温度均匀性,当门开、关动作 引起扰动时,可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值

进气/排气:

进气系统:数量1个,φ30-60mm

排气系统:数量1个,φ30-60mm

5、完善的安全保护措施:
     漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 机台异常蜂鸣器,逆向防止器、门面安全开关。

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