可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.
可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱用途及执行标准 | ||
制造标准 | 本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造。 | |
2、产品用途 | 主要应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求。 | |
3、适用行业 | 应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业. | |
可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱技 术 性 能 参 数 | ||
1、设备名称 | 高温无尘无氧烤箱 | |
2、设备型号 | JS-MOA130-1F | |
3、主要技术参数 | ||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm(W×D×H) | |
3.2 材质 | 外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用SUS/304不锈钢 | |
3.3 温度范围 | RT+10-450℃,使用温度≤380℃ | |
3.4 温度分辨率 | 0.1℃ | |
3.5 温度波动度 | <±1℃ | |
3.6 温度均匀度 | ≤±2% | |
3.7 洁净度 | class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境 | |
3.8电源及总功率 | AC 380V±10% / 50HZ 总功率约11.0KW | |
3.9 升温时间 | 每分钟5度,全程平均(空箱测试) | |
3.10降温时间 | 降温方式:水冷+风冷,300℃-90℃降温时间约为1小时(空箱测试) | |
3.11氧含量
| 高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量 | |
3.12 数据输出 | 六通道温度检测记录仪 |
洁净烘箱,百级洁净烤箱用途:
洁净烘箱,百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
洁净烘箱,百级洁净烤箱特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
洁净烘箱,百级洁净烤箱产品技术参数:
1.主要技术指标:
无尘等级:Class 100;
温度范围:RT+10~200℃;
温度均匀度:±2℃;
温度波动度:±0.5℃(空载)
温控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W800×D800×H1000(mm)
电源:380v , 50Hz,20KW
网板:2块(高度可调节)