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可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱

可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱

简要描述:

可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

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        可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱用途及执行标准 

  1. 满足设备

   制造标准

本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造 

2、产品用途

主要应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求。

3适用行业

应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

可编程洁净烘箱,程序无尘烘箱技 术 性 能 参 数   

1设备名称

 高温无尘无氧烤箱

2、设备型号

 JS-MOA130-1F

3、主要技术参数                                                          

3.1 工作室尺寸

 450×450×650mm(W×D×H

3.2  材质

 外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用SUS/304不锈钢

3.3 温度范围

 RT+10-450℃,使用温度380℃

3.4 温度分辨率

 0.1℃

3.5 温度波动度

 <±1℃

3.6 温度均匀度

 ≤±2%

3.7 洁净度

 class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

 AC 380V±10% / 50HZ       总功率约11.0KW    

3.9 升温时间

 每分钟5度,全程平均(空箱测试)

3.10降温时间

 降温方式:水冷+风冷,300℃-90℃降温时间约为1小时(空箱测试)

3.11

 

 高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
 低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量

3.12 数据输出

六通道温度检测记录仪

 

洁净烘箱,百级洁净烤箱用途:
     洁净烘箱,百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

洁净烘箱,百级洁净烤箱特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度

洁净烘箱,百级洁净烤箱产品技术参数:

1.主要技术指标:
   无尘等级:Class 100;     

 温度范围:RT+10200℃;
   温度均匀度:±2℃;    

 温度波动度:±0.5℃(空载)        
   温控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm         
   电源:380v , 50Hz,20KW    

 网板:2块(高度可调节)

 

 

 

 

 

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