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硅片洁净烘箱,半导体百级洁净烤箱

硅片洁净烘箱,半导体百级洁净烤箱

简要描述:

硅片洁净烘箱,半导体百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验

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硅片洁净烘箱,半导体百级洁净烤箱概述

硅片洁净烘箱,半导体百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

参数

主要技术指标

Ø  无尘等级:Class 100;     

Ø  温度均匀度:±2℃;    

Ø  温度波动度:±0.5℃(空载);        

Ø  温控精度:±0.1℃;

Ø  进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;

排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);

箱体结构

a)   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热、过滤器及风道系统组装而成

结构合理,外观美观大方;

b)   箱体材料:外箱采用优质冷轧板喷塑,可防止微尘;

c)   内胆材料:采用优质SUS304镜面不锈钢板,并经碱 性苏打水清洁

去油污避免烘烤PARTICLE;

完善的安全保护措施

漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置(上限220℃)、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器、门面安全开关。

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