硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱概述
硅片百级洁净烤箱，高温洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
特点
Ø 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
Ø 全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
Ø 采用单面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
Ø 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到所需控制精度。
温度记录仪
a) 宽视角高分辨TFT彩色液晶屏
b) 六通道、无纸记录方式
c) 曲线、数字、棒图、总览、报警、历史画面显示
d) 通过网络在PC机远程查看本体画面
e) 多功能面板按键
f) 批处理启/停记录，并生成数据文件
g) 数据安全保证
h) 400MB大内存
i) 二进制数据存储
j) 网络化数据冗余
箱体结构
a) 烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热、过滤器及风道系统组装而成
结构合理，外观美观大方；
b) 箱体材料：外箱采用优质冷轧板喷塑，可防止微尘；
c) 内胆材料：采用优质SUS304镜面不锈钢板，并经碱 性苏打水清洁
去油污避免烘烤PARTICLE；
