全国统一热线:86-021-60649603/18016281599
产品中心您的位置:网站首页 > 产品中心 > 半导体烘烤设备 > 洁净烤箱 > 半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱
半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱

简要描述:

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

打印当前页

免费咨询:86-021-60649603

发邮件给我们:junsish@163.com

分享到:

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱概述

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱特点

Ø  在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;

Ø  全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;

Ø  采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱参数

Ø  进风口:φ6mmN2进气、流量计控制;

Ø  排风口: φ3”排风管(外接φ5"法兰);       

Ø  电源:480v , 50Hz,15KW ,电源供应器为UL/FM/CE或3C认证,并有过

Ø  电流保护装置;   

Ø  网板:5层,2mmt不锈钢版加工四周内向折成10mm的圆孔承托盘 , 单层

Ø  层载重量可需承重50kg;

Ø  洁净度:100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实

Ø  现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。

半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱温度控制器

Ø  彩色触摸屏控制器TEMI360

a)   控制器:彩色触摸屏;

b)   显示器:3.5英寸TFT彩色LCD显示器;

c)   输出方式:PID控制输出;

d)   运行方式:程序方式、定值方式;

e)   设定方式:中/英文菜单,触摸屏方式输入;

COPYRIGHT @ 2016 网站地图    沪ICP备16022591号-1   

上海隽思实验仪器有限公司主要经营优质的半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱等,欢迎来电咨询半导体百级洁净烘箱,芯片百级烤箱详细资料等信息
地址:上海奉贤柘林工业园