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坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱

坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱

简要描述:

坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱​用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

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坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱概述
       无尘烤箱​用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
坚膜无尘烤箱特点
1、 烤箱用于半导体车间100级生产线;
2、 设备能够实现对CASETTE内硅片烘烤工艺;
3、 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
4、 开机后墙体内一直处于恒温状态;
5、 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到高精度温度控制;
​6、操做人员放入产品后关门,点击开始按钮即可一键完成菜单工艺,完成后伴有声光提示。

坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱技术参数
1、 无尘等级:Class 100;     
2、 温度均匀度:±2℃;    
3、 温度波动度:±0.5℃(空载);        
4、 温控精度:±0.1℃;
5、 温度范围:RT+10-200/300℃;
​6、 升温速率:​≥8​℃/min(可修改)​;
​7、 内腔材质:SUS304#镜面不锈钢;
​8、 外箱材质:优质冷轧板喷塑或SUS304#不锈钢;​
​9、 密封条:耐高温氟橡胶密封条;
​10、氮气装置:可调式浮子流量计;
​11、安全装置:漏电保护,超温保护,三色提示灯等。

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