有降温功能真空烘箱,300度可降温真空烤箱用于键合预处理,晶圆,芯片,电容,电池,封装,光刻胶固化,PI固化等
有降温功能真空烘箱,300度可降温真空烤箱控制系统:
具备参数设定、工艺程序编写功能,工艺过程可保存并输出;
工艺结束提示音;
触摸屏
PLC控制器
运行程式可保存不少于5个工艺菜单。
材质
(1)内部为304或316材质;
(2)外部材质:优质冷轧板喷塑;
(3)硅橡胶密封;
(4)内部采用圆角结构。
(5)冷却水管材质:金属水管和其他。
内部尺寸:长×宽×高=600mm×500mm×500mm
腔门:带有观察窗。
搁架:配有不锈钢的托盘;
真空控制系统
(1)配备数字真空控制器,显示腔内相对压强;
(2)配备干泵、真空检测和显示系统,真空压力可控;
(3)真空泵:油泵或干泵
温度控制系统
(1)可编程多段升温程序;
(2)具备温度校准功能。
安全保护系统
(1)接地保护装置;
(2)超温报警及保护装置;
(3)加热器短路保护装置;
(4)压力低压报警;
配有三色指示灯及蜂鸣器提示机台运行状态。
有降温功能真空烘箱,300度可降温真空烤箱技术指标:
真空
(1)工艺真空度:≤133pa;
(3)通过真空电磁阀可实现真空度的控制。
温度
(1)温度范围:室温至300℃;
(3)温度调节精度:≤±0.5℃;
(4)温度稳定度:≤1℃;
(5)温度波动度:≤1℃;
(6)降温至室温时间:<60min;
(7)升温至200℃时间:<30min;
(8)可编程进行多段升温。
洁净度
可达class100(使用环境100级)