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不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱

不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱

简要描述:

不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱应用于目前关键的半导体电子行业(如硅片干燥,坚膜烘烤,装片机后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。

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不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱应用范围
  不锈钢无尘烤箱应用于目前关键的半导体电子行业(如硅片干燥,坚膜烘烤,装片机后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能传感器、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱技术性能
内腔尺寸:300*300*300;450*450*450;500*600*700;800*800*900......定制尺寸;​
腔体数量:1-8个可选,每腔单独控制;​
材质:内箱:SUS304不锈钢或SUS316不锈钢,外箱材质:冷轧板喷塑,或304不锈钢;​
操作系统:LED数字控制,多彩触摸屏式控制,人机界面+PLC控制,自动化智能控制(MES)等;​
无尘等级:Class 100;   
无氧功能:≤20PPM;​(选配)  
辅助降温功能:风冷、水冷;​(选配)
工业智能系统:MES系统、      SECS / GEM系统;​(选配)
扫码枪: 作业时扫码可实现自动调取所需作业程序;​
温度范围:RT+10~200、300℃、450℃;
温度均匀度:≤±2%℃;  
温度波动度:±0.5℃(空载);        
温控精度:±0.1℃;
进气口:φ8mmN2进气;
排风口:耐高温不锈钢排风口;     
电源:380v , 50Hz三相五线制。

 

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