无氧烘箱，智能无氧双层烘箱 工业烘箱

无氧烘箱，智能无氧双层烘箱智能功能：

1.机台配备MES通讯功能；
2.人机界面和PLC,可依使用者区分制程/设备/OP权限；
3.主温控温度实时显示于人机界面；
4.氮气流量显示人机界面，也可在人机界面设定氮气ON/OFF，随RECIPE设定；
5.机台上下箱各配备一台扫描枪；
6.制程条件参数改于人机画面上以表格化方式输入，只要依序输入欲制程条件系统即会自动转入温控器；
7.系统可与客户IT进行连接，可选用条形码上传IT后，接收由IT比对下载制程数据或直接接收IT所下载制程数据方式，系统并自动将制程写入温控器，达到远程制程下载，避免人员制程选择操作错误问题；
8.系统提供主控点温度、六点温度、氮气流量值及设备状态数据可供IT进行连接读取，让客户端可远程随时掌握设备状况；
9.超温防止器与人机连接，随RECIPE设定；
10.具有马达转速侦测功能，且在人机显示转速；
11.人机有异常履历可查询。

 无氧烘箱，智能无氧双层烘箱技术参数（以下数据均为单箱参数，每个箱体单独控制、运行）

温度范围： RT+10～300/400/500℃；
内箱尺寸： 450*450*450,500*600*700；可定制 
升温速率（空载）:0-15℃/min；
降温方式 :自然降温/水冷/风冷；
氧含量： ≤50ppm，实时检测并显示；
控温稳定度： ≤±1℃；
温度均匀度：≤±1.5%℃（空载）；

腔体数量：2/3/4/6腔体可选。