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电子真空储存柜,半导体真空存储箱

电子真空储存柜,半导体真空存储箱

简要描述:

电子真空储存柜,半导体真空存储箱主要用于储存光学零件、半导体元器件、金属材料、精密机械、电子零件、化工产品、化工原料、稀土材料、蓝景膜、厌氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍贵食品,肉食蔬菜果品及中西药品以及易潮湿的衣物床上用品等。

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电子真空储存柜,半导体真空存储箱应用

    半导体、半导体巴条、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等生产制造领域,这些电子产品如何长期保存、以及生产过程中如果有效保存,是一项关键工艺。常规在大气下保存,由于温度、湿度、洁净度等因素的原因,会对电子器件质量造成较大影响。

     主要用于储存光学零件、半导体元器件、金属材料、精密机械、电子零件、化工产品、化工原料、稀土材料、蓝景膜、厌氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍贵食品,肉食蔬菜果品及中西药品以及易潮湿的衣物床上用品等。

 

电子真空储存柜,半导体真空存储箱性能

 

内尺寸:400mm×400mm×300mm(宽×深×高),多尺寸定制

 

箱数:1-12箱体,多开门,独立控制

 

材质: 内箱采用SUS304不锈钢,内表面镜面抛光,外箱采用优质冷轧板静电喷塑,或不锈钢

 

温度: 无需温度监控及控制,可定制高温

 

真空度 :≤10pa,数字显示(单箱指标)

 

抽速: 从1atm-10Pa时间≤3min(单箱指标)

 

电源及功率: AC 220V±10% / 50HZ       总功率约0.8KW    

 

操做界面: 彩色触摸屏界面,集成式控制,位于箱体上方

 

分层数 :二层(单箱指标)

 

真空泵: 涡旋干泵

 

腔门密封圈: 采用耐高温硅橡胶密封圈,密封圈采用一体成型无缝加工

 

氮气控制: 可调式转子氮气流量计

 

安保装置: 安全的接地保护装置

 

电子真空储存柜的结构:

 

真空储存柜主要由3部分组成:真空系统、测量系统、控制系统。

 

1、真空系统包括真空管道与腔体、真空泵、真空阀、真空计等,为产品器件提供真空存储环境;

 

2、测量系统:包括真空度测量、温度测量以及湿度测量;

 

3、控制系统:根据参数设置要求,自动控制储存室的排气、放气动作。

 

操作系统:

 

针对不同的功能,系统界面共设“自动操作界面"、“手动操作界面"、“数据查询界面"、“参数设置界面"、“产品信息界面"。您可在控制界面上通过点击界面切换按钮进入另一操作界面。

 

自动操作界面:

 

此界面为默认进入的主界面,可实现“排气"、“放气"、“照明",以及界面切换等功能。

 

手动操作界面:

 

此界面可在手动模式下,单独实现对泵及各阀门的操作,方便日常维护。

 

数据查询界面:

 

包含“真空数据查询"、“温度数据查询"



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