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HMDS Coater(HMDS 涂布机)使用范围

发布时间:2013-08-14   点击次数:1908次

HMDS Coater(HMDS 涂布机)用途:

   HMDS Coater是通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

HMDS Coater(HMDS 涂布机)技术指标:


1设备名称

HMDS Coater(HMDS 涂布机)

2、设备型号

 JS-HMDS90-AI/MES

3、设备主要技术参数                                                          

3.1 尺寸*宽*高

内腔尺寸:350×350×350/450×450×450(mm)可定制


3.2 材质

外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用316L医用级不锈钢

3.3 温度使用范围

80-200℃

3.4 温度分辨率

0.1℃

3.5 温度波动度

±0.5

3.6 真空度

133pa(1torr)

3.7 洁净度

设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率

AC 220V±10% / 50HZ       总功率约3.5KW    

3.9 控制仪表

人机界面

3.10搁板层数

2层

3.11 HMDS控制

可控制HMDS药液添加量

3.12真空泵

无油涡旋真空泵

3.13 保护装置

HMDS药液泄漏报警装置,HMDS低液位报警提示,超温保护,漏电保护等。


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