HMDS Coater（HMDS 涂布机）用途：
HMDS Coater是通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS Coater（HMDS 涂布机）技术指标：
1、设备名称 | HMDS Coater（HMDS 涂布机） |
2、设备型号 | JS-HMDS90-AI/MES |
3、设备主要技术参数 | |
3.1 尺寸（深*宽*高） | 内腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制 |
3.2 材质 | 外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用316L医用级不锈钢 |
3.3 温度使用范围 | 80-200℃ |
3.4 温度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 温度波动度 | ≤±0.5 |
3.6 真空度 | ≤133pa（1torr） |
3.7 洁净度 | 设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境 |
3.8电源及总功率 | AC 220V±10% / 50HZ 总功率约3.5KW |
3.9 控制仪表 | 人机界面 |
3.10搁板层数 | 2层 |
3.11 HMDS控制 | 可控制HMDS药液添加量 |
3.12真空泵 | 无油涡旋真空泵 |
3.13 保护装置 | HMDS药液泄漏报警装置，HMDS低液位报警提示，超温保护，漏电保护等。 |
