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晶圆洁净烘箱,不锈钢百级烤箱定制

晶圆洁净烘箱,不锈钢百级烤箱定制

简要描述:

晶圆洁净烘箱,不锈钢百级烤箱定制安全装置漏电断路器、控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、马达过电流保护、 反向保护装置、内衬防火材料、机台异常蜂鸣器警示、门面安全开关。

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晶圆洁净烘箱,不锈钢百级烤箱定制技术指标


无尘等级:Class 100;     

温度范围:RT+10250、450℃;
 温度均匀度:≤±1.5%;    

温度波动度:±0.5℃        
 温控精度:±0.1℃;


工作尺寸:自定义      



高效空气过滤器(HEPA)

特点:效率高、阻力低、容尘量大;

外框材质:不锈钢;

滤料:超细玻璃纤维滤纸;

隔板:铝箔;

过滤效率:≥99.99%;

   显示直观,操作简单



晶圆洁净烘箱,不锈钢百级烤箱定制的操作:




1、4.3吋彩色触摸屏;

2、两种控制方式:定值/程式;

3、传感器类型:PT100

4、报警信号:16条报警输入(DI),可编辑名称;

5、温度测量范围:-20.00℃-400.00℃(可定制)误差±0.3℃;

6、界面语言类型:中文/英文;

7、通讯接口:(RS232/RS485,通讯最长距离1.2km[光纤可达30km]),可连接打印机打印温湿度曲线监控数据;

8、程式编辑:可编120组程式,每组程式最大为100段;


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