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高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱

高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱

简要描述:

高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱应用于MEMS智能传感器芯片生产、LCD前工段生产、玻璃基板等工艺中的PI(聚酰亚胺)固化,BCB聚合物、PBO高温固化,银胶固化,光刻胶固化,镀金方案中感湿膜烘烤工艺,车载玻璃镀膜后退火,硅片(晶圆)高温退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡胶材料厌氧烘烤工艺,电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求

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高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱应用工艺

       应用于MEMS智能传感器芯片生产、LCD前工段生产、玻璃基板等工艺中的PI(聚酰亚胺)固化,BCB聚合物、PBO高温固化,银胶固化,光刻胶固化,镀金方案中感湿膜烘烤工艺,车载玻璃镀膜后退火,硅片(晶圆)高温退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡胶材料厌氧烘烤工艺,电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于工厂生产、高校研究、科研机构研发等.



高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱技术性能


工作室尺寸

   

W350mm×350mm×H350mm

W450mm×450mm×H450mm

W500mm×500mm×H500mm

W500mm×600mm×H700mm(可 定制)


材质: 内箱采用耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑(可定制)

  

 温度范围: RT+50~450/550℃  

  

温度分辨率: 0.1℃


 温度波动度:≤±1℃

  

 温度均匀度:≤±1.5%℃

   

洁净度:Class1000   (可选class100)


 升温速率:1~10℃/min,(可定制15℃/min)

   

降温速率: 高温降温至80度平均约4.0℃/min 

   

氧含量:氧含量≤20ppm  

   

数据输出: 氧含量分析仪,六点温度记录仪

   

操作方式:人机界面+PLC,可程式/定制运行

   

样品架:2-10层不锈钢冲孔样品架

   



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