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塑封固化专用洁净烘箱

塑封固化专用洁净烘箱

简要描述:

塑封固化专用洁净烘箱采用自动加热的方式对其进行保温固化,固化温度维持在 175℃,固化时间为 8 小时。塑封固化的主要作用是消除塑封料内部的应力。

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塑封固化专用洁净烘箱使用要求

   塑封固化:注塑完成后,工件转移至固化加热炉,采用自动加热的方式对其进行保温固化,固化温度维持在 175℃,固化时间为 8 小时。塑封固化的主要作用是消除塑封料内部的应力。此过程主要污染物:固化有机废气。

塑封固化专用洁净烘箱性能

   洁净烘箱,百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

 洁净等级:Class 100;     

温度范围:RT+10250/450℃;
 温度均匀度:±1.5%℃;    

温度波动度:±1℃(空载);        
 温控精度:0.1℃;

内腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱体一体式;

洁净烘箱耐高温高效空气过滤器(HEPA)

a、内部 100 级洁净过滤器,采用耐高温高效过滤器使用有隔板设计,波纹形隔板可以精确地保持褶层间距

b、在最小阻力下,最大限度地利用滤料,过滤器滤材两面 180 褶翻褶形褶层,滤料折弯时有两道压痕

c、使其在隔板的尾端开成锲形盒式褶层,锲形盒式褶层可以防止滤料破损

d、特点:

效率高、阻力低、容尘量大;

外框材质:不锈钢;

滤料:超细玻璃纤维滤纸;

隔板:铝箔;

过滤效率:≥99.99%;

显示直观,操作简单


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