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智能型无尘无氧烘箱 高温氮气无氧PI烤箱

智能型无尘无氧烘箱 高温氮气无氧PI烤箱 电子胶体固化:银胶/BCB胶/光刻胶高温固化(300-450℃)

晶圆加工:退火处理、PI膜烘烤(±1℃波动精度)

陶瓷烧结:电子陶瓷材料无尘烘干(Class100洁净环境)

  • 产品型号:JS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-09-17
  • 访  问  量:1785
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产品详情

智能型无尘无氧烘箱  氮气无氧烤箱  PI固化炉

一、智能型无尘无氧烘箱  高温氮气无氧PI烤箱核心功能定位

1.1 工艺适配场景

✅ ‌精密热处理‌

  • 电子胶体固化:银胶/BCB胶/光刻胶高温固化(300-450℃)

  • 晶圆加工:退火处理、PI膜烘烤(±1℃波动精度)

  • 陶瓷烧结:电子陶瓷材料无尘烘干(Class100洁净环境)

✅ ‌行业覆盖矩阵‌

核心行业典型应用产品工艺优势
半导体制造晶圆、触摸屏ITO玻璃氧含量≤20ppm防氧化
显示面板LED封装、OLED基板温度均匀度≤±1.5%℃
新能源光伏电池板、PCB板15℃/min急速升温(定制版)

二、技术参数体系

2.1 核心配置参数

参数类别技术指标可定制选项
‌箱体结构‌内箱SUS304不锈钢/外箱冷轧板喷塑全不锈钢/防爆涂层
‌工作室尺寸‌标准规格:300×500×700mm非标尺寸定制
‌温控系统‌RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波动≤±1℃600℃高温扩展

2.2 环境控制系统

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▶ 洁净度:Class100(ISO 5级)     └ 可选配Class1000(ISO 6级)   ▶ 氧含量控制:≤10ppm(N₂置换系统)     └ 配备在线氧分析仪   ▶ 热交换系统:线性降温4℃/min(80℃以下)  

2.3 智能操作模块

  • ‌控制系统‌

    :工业级PLC+HMI触摸屏

  • ‌程序编排‌

    :支持30组999段程式设定

  • ‌数据追溯‌

    :六点温度记录仪(符合FDA 21 CFR Part 11)


三、设备型号对照表

设备型号工作室容积适用生产场景
JS-GYM040-AI0.043m³实验室研发/小批量试制
JS-GYM090-AI0.091m³中型元器件连续生产
JS-GYM125-AI0.125m³光伏电池板热处理
JS-GYM210-AI0.210m³晶圆厂量产型工作站

四、智能型无尘无氧烘箱  高温氮气无氧PI烤箱技术亮点说明


‌三位一体精准控制‌

  1. ‌温度维度‌

    :PID算法+SSR控制,达成±0.1%超调抑制

  2. ‌洁净维度‌

    :HEPA+ULPA双级过滤系统,颗粒物截留率≥99.995%

  3. ‌氧控维度‌

    :氮气或真空置换+气体循环复合系统,残氧量达军工标准


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