无尘烘箱，无尘固化烤箱用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

SECS/GEM协议无尘烘箱，无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。设备可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。

无尘烘箱，晶圆无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；

无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、LED、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

半导体工艺洁净烘箱，百级无尘烘箱具有*设计的强鼓风循环系统确保了温度的稳定性，高效循环过滤系统确保箱内的洁净度,控温装置采用 PID 数显控温（可选触摸屏等），直观醒目，设有可靠性保护装置。