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    HMDS预处理烘箱
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    01

    更新日期

    2025-09-16
    02

    厂商性质

    生产厂家
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    2520
  • HMDS真空烘箱
    HMDS真空烘箱
    HMDS真空烘箱预处理性能更好，由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理，所以不会有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。
    01

    更新日期

    2025-09-16
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    厂商性质

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