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智能型HMDS蒸镀机台是一种 具有预处理性能更好，处理更加均匀，效率高，更加节省药液特性的智能型烘箱。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

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HMDS蒸镀真空烤箱，芯片HMDS蒸镀烤箱HMDS的HMDS蒸镀就是利用惰性气体（例如氮气）带着HMDS的蒸汽通过芯片表面,而在晶面上形成一层薄膜