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HMDS烘箱,hmds预处理烘箱
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将HMDS涂到样品表面后,经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物,将样品表面由亲水性变为疏水性,此疏水性能HMDS烘箱,hmds预处理烘箱够很好的与光刻胶结合,增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。

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HMDS烤箱机台,HMDS预处理烘箱
HMDS烤箱机台,HMDS预处理烘箱

HMDS烤箱机台,HMDS预处理烘箱箱体外壳采用高级不锈钢制作,内胆为316L医用不锈钢材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

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HMDS真空烘箱处理系统
HMDS真空烘箱处理系统

HMDS真空烘箱处理系统:性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。

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HMDS预处理烘箱价格
HMDS预处理烘箱价格

HMDS预处理烘箱价格:处理更加均匀,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

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上海HMDS烘箱供应
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上海HMDS烘箱供应预处理性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。

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全自动HMDS预处理系统
全自动HMDS预处理系统

全自动HMDS预处理系统:带有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

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晶圆HMDS烤箱预处理系统
晶圆HMDS烤箱预处理系统

晶圆HMDS烤箱预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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