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  • HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
    HMDS烤箱,HMDS真空烘箱将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。
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    2025-09-17
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  • HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )-真空烘箱
    HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在箱内先经过100℃-200℃的去水烘烤,再进行HMDS处理,不需要从箱内传出,而接触到空气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有更好的处理效果。
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  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
    智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
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  • 智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵
    智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵密封设计(电机和所有轴承与真空环路*隔开)延长了轴承的使用寿命, 还可提供洁净、无油的真空条件。可选的集成入口保护阀内置于泵模块中, 可根据需要使用,不会额外增加泵的高度。
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  • 智能型HMDS涂胶机,自动HMDS涂胶镀膜机
    智能型HMDS涂胶机,自动HMDS涂胶镀膜机也称为HMDS处理,是用于使晶片表面呈疏水性的处理。
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