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电子无尘烤箱，电子洁净烘箱 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要，且需要多次烘烤。
产品型号：厂商性质：生产厂家更新时间：2025-09-16访 问 量：2780
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电子无尘烤箱，电子洁净烘箱的应用：
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要，且需要多次烘烤。
电子无尘烤箱，电子洁净烘箱的组成：
烘烤工作室：需烘烤的产品放置区；
洁净室：高效过滤器净化工作室内空气，达到class100洁净度；
控制部分：温度、时间、记录、温度检测、烤箱开关等操作区；
电器箱：无尘烤箱电器部分，电子元件等安装区；
其他：氮气接口，排风阀门，扫码枪等。
电子无尘烤箱技术性能：
温度范围：RT+10～200、300/450℃；
升温速率：≥5℃/min（可定制）；
温度均匀度：±1.5%℃;
温度波动度：±0.5；
温控精度：0.1℃;
时间设定范围：0.1S-9999H；
内腔数量：单腔，上下层双腔体，四腔体等；
腔内分层：2层或多层
内箱材料:SUS304镜面不锈钢制作；
外箱材料：优质冷轧板喷塑或#304镜面不锈钢制作；
密封材料：密封条采用硅胶胶条制作，可耐温不变形，；
保温材料；阻燃陶瓷纤维。
外壳温度：在 200℃以内，不高于室温+15℃，门周边接接缝处除外。
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