电子无尘烤箱,电子洁净烘箱 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要,且需要多次烘烤。
电子无尘烤箱,电子洁净烘箱的应用:
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要,且需要多次烘烤。
电子无尘烤箱,电子洁净烘箱的组成:
烘烤工作室:需烘烤的产品放置区;
洁净室:高效过滤器净化工作室内空气,达到class100洁净度;
控制部分:温度、时间、记录、温度检测、烤箱开关等操作区;
电器箱:无尘烤箱电器部分,电子元件等安装区;
其他:氮气接口,排风阀门,扫码枪等。
电子无尘烤箱技术性能:
温度范围:RT+10~200、300/450℃;
升温速率:≥5℃/min(可定制);
温度均匀度:±1.5%℃;
温度波动度:±0.5;
温控精度:0.1℃;
时间设定范围:0.1S-9999H;
内腔数量:单腔,上下层双腔体,四腔体等;
腔内分层:2层或多层
内箱材料:SUS304镜面不锈钢制作;
外箱材料:优质冷轧板喷塑或#304镜面不锈钢制作;
密封材料:密封条采用硅胶胶条制作,可耐温不变形,;
保温材料;阻燃陶瓷纤维。
外壳温度:在 200℃以内,不高于室温+15℃,门周边接接缝处除外。