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抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机

抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机

简要描述:

抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机抗粘剂气相涂布机模具在使用前,要涂一层抗粘剂,使得模具和压印胶之间的粘附性变差,使脱模过程变得容易。

抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机的必要性

  在纳米压印工艺中模具在进行压印前要进行预处理,当模具压印光刻胶后脱模时,有2种可能,一种是模具可完全脱离,压印胶图形完整保留;一种是模具和压印胶粘在一起脱模过程中胶也被带起来,使得压印图形无法保留,而这些粘在模具上的胶也会污染模具。因此模具在使用前,要涂一层抗粘剂,使得模具和压印胶之间的粘附性变差,使脱模过程变得容易。

抗粘剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机,抗粘剂气相涂布机适用范围

半导体,光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料,如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。

抗粘 剂镀膜机,抗粘剂蒸镀机主要技术参数                                      

3.1 工作室尺寸: 350×350×350(mm)

3.2 材质: 外箱优质SUS#304不锈钢,内腔采用316L医用不锈钢

3.3 温度范围 :RT+20-450℃

3.4 温度分辨率: 0.1℃

3.5 温度波动度 :≤±0.5

3.6 真空度: ≤20torr

3.7 洁净度 :设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率 :   

3.9 控制仪表 人机界面

3.10搁板层数 1层

3.11真空泵 无油泵

3.12 保护装置 超温保护,漏电保护,过热保护等


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