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抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机抗粘剂气相涂布机模具在使用前，要涂一层抗粘剂，使得模具和压印胶之间的粘附性变差，使脱模过程变得容易。

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2025-09-17
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产品详情

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机的必要性

在纳米压印工艺中模具在进行压印前要进行预处理，当模具压印光刻胶后脱模时，有2种可能，一种是模具可*脱离，压印胶图形完整保留;一种是模具和压印胶粘在一起脱模过程中胶也被带起来，使得压印图形无法保留，而这些粘在模具上的胶也会污染模具。因此模具在使用前，要涂一层抗粘剂，使得模具和压印胶之间的粘附性变差，使脱模过程变得容易。

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机，抗粘剂气相涂布机适用范围

半导体，光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料，如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。

抗粘剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机主要技术参数

3.1 工作室尺寸： 350×350×350（mm）

3.2 材质：外箱优质SUS#304不锈钢，内腔采用316L医用不锈钢

3.3 温度范围：RT+20-450℃

3.4 温度分辨率： 0.1℃

3.5 温度波动度：≤±0.5

3.6 真空度： ≤20torr

3.7 洁净度：设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

3.8电源及总功率：

3.9 控制仪表人机界面

3.10搁板层数 1层

3.11真空泵无油泵

3.12 保护装置超温保护，漏电保护，过热保护等

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