不锈钢无尘烤箱,双层无尘烘箱应用于目前关键的半导体电子行业(如硅片干燥,坚膜烘烤,装片机后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。
无氧烘箱,无氧化烘箱在半导体集成电路制造过程中,晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响
充氮厌氧烘箱,450度厌氧固化炉应用于精密电子元件、聚酰亚胺层(PI)固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,模拟线性升降温环境,特别适合半导体制造、MEMS制作、工艺COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。