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洁净无氧烘箱,氮气无氧 烘箱用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。
后曝光氮气烘箱,PEB无尘烘箱所使用的高温(100-130°C)会使光敏化合物扩散,从而消除驻波波纹.百级洁净度无尘化,专用于半导体,集成电路。
聚酰亚胺PI无氧烘箱,氮气亚胺化烘箱应用于精密电子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求。
氮气烘箱,掩膜板烘箱在掩膜版的生产制造过程中,掩膜版基板在光阻涂布后会有一个烘烤的环节,又称为前烘。
水冷无氧化烘箱,高温无氧烘箱升温方式:程序线性升温 降温方式:风冷+水冷辅助降温 氧含量:氧含量≤20ppm
真空无氧烤箱,无氧化真空烘箱用于光刻胶BCB,聚酰亚胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纤维热处理,
前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱优化光刻胶的光学吸收特性,提高光刻胶对衬底的黏附性