晶圆退火烤箱，500度退火氮气烘箱晶圆退火需进行升温处理，升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护，该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。
晶圆退火烤箱，500度退火氮气烘箱：
晶圆退火需进行升温处理，升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护，该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。
晶圆退火烤箱，500度退火氮气烘箱技术性能：
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制
2 材质 内箱采用耐高温SUS304不锈钢，外箱采用优质冷轧板喷塑
3 温度范围 RT+50-550℃
4 控温精度 +1
5 温度波动度 ≤±1℃
6 温度均匀度 ≤1.5%
7 洁净度class100/class1000/无要求
8电源及总功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升温速度 1-10℃/min可调
10降温方式 风冷降温/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 数据输出 氧含量分析仪，温度记录仪
13操作方式 彩色触摸屏控制，可程式/定制运行
14 样品架 2层不锈钢冲孔托盘
500度退火氮气烘箱安全保护：
三色报警灯
超温报警
短路保护
漏电保护
超温保护，独立感温式超温保护器
电机保护
电子锁自动锁紧，防止高温开门
