HMDS烘箱，中国台湾hmds烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、预处理性能更好 2、处理更加均匀 3、效率高 4、更加节省药液 5、更加环保和安全 6、低液报警装置 7、可自动吸取HMDS功能 8、可自动添加HMDS功能 9、HMDS药液泄漏报警功能 10、HMDS紧急疏散功能 11、数据记录打印功能
智能型HMDS烘箱，全自动HMDS预处理系统预处理性能更好，更加均匀；效率高,一次可以处理多达4盒的晶片；更加节省药液；低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能；，有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。
蓝宝石增粘烘箱， HMDS烘箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
HMDS烘箱原理，2-12寸晶圆预处理烘箱通过对烘箱 HMDS 预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间 等参数的编辑，可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了 HMDS 处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量， 提高光刻胶与硅片的黏附性。
HMDS烤箱机台，HMDS预处理烘箱箱体外壳采用高级不锈钢制作，内胆为316L医用不锈钢材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
