HMDS真空烤箱，全自动HMDS预处理系统通过对烤箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

无尘烤箱，高温无尘无氧烤箱工作室为不锈钢结构。适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。

洁净烘箱，百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

前烘洁净烘箱，半导体工艺烤箱，用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。

半导体光刻烤箱晶圆涂胶烤箱、光刻涂胶用烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环。经耐高温高效空气过滤器过滤，使烘箱工作室内处于无尘状态。

半导体工艺洁净烘箱，百级无尘烘箱具有*设计的强鼓风循环系统确保了温度的稳定性，高效循环过滤系统确保箱内的洁净度,控温装置采用 PID 数显控温（可选触摸屏等），直观醒目，设有可靠性保护装置。

HMDS烘箱，半导体工艺HMDS设备有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。