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HMDS烘箱

HMDS镀膜机 HMDS预处理系统 HMDS烤箱 HMDS预处理烘箱

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2025-09-16

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hmds真空镀膜机，光刻hmds镀膜烤箱的用途： hmds真空镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

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HMDS镀膜机，黄光区镀膜设备

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硅片HMDS涂布机台，4寸Wafer hmds烤箱是将 HMDS 涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

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HMDS镀膜烤箱，HMDS真空镀膜系统

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