抗粘剂涂胶机，抗粘 剂真空预处理系统用于半导体，光电、电子行业硅片或石英硬模板等材料，如制备各种微纳电子器件、光学器件、光电器件、存储器、微流体通道、生物芯片等微纳结构制备方面的应用。

抗粘 剂镀膜机，抗粘剂蒸镀机抗粘剂气相涂布机模具在使用前，要涂一层抗粘剂，使得模具和压印胶之间的粘附性变差，使脱模过程变得容易。

匀胶机，可程式匀胶 机用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。

真空无氧烘箱，高温无氧真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合材料预处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。

全氟辛基三氯硅烷涂胶机，抗粘剂PFTS烘箱主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中HMDS增粘剂涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。

有降温功能真空烘箱，300度可降温真空烤箱用于键合预处理，晶圆，芯片，电容，电池，封装，光刻胶固化，PI固化等

充氮真空烘箱，快速降温真空烤箱用于键合材料的真空预处理 、BCB固化、ITO膜退火，PI胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业。