真空固化烤箱，防氧化真空系统用于键合前键合材料的真空处理 、ITO膜退火，PR胶排胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。

真空镀膜机，脱模剂烤箱应用于半导体、光电、电子行业，硅片、石英等纳米压印模板材料。

HMDS烘箱、HMDS预处理系统降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

12寸HMDS真空烤箱，芯片HMDS烘箱过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

光刻胶无尘烘箱，电子陶瓷固化烤箱主要应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料等无尘烘干的特殊工艺要求。