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半导体烘烤设备

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高温无氧烘箱520L

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高温无氧烘箱，充氮高温无氧烤箱

高温无氧烘箱，充氮高温无氧烤箱应用于MEMS智能传感器芯片生产、LCD前工段生产、玻璃基板等工艺中的PI（聚酰亚胺）固化，BCB聚合物、PBO高温固化，银胶固化，光刻胶固化，镀金方案中感湿膜烘烤工艺，车载玻璃镀膜后退火，硅片（晶圆）高温退火，PCB板防氧化烘烤，氟橡胶材料厌氧烘烤工艺，电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求

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无氧烘箱，无氧烤箱氧浓度仪

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无氧化恒温热板，氮气保护加热台

无氧化恒温热板，氮气保护加热台用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、硅片高温退火，电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求，形成高温、低氧（无氧），特别适合半导体制造、玻璃退火、IC、石英玻璃、医疗卫生、柔性穿戴技术研发、精密模具退火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。

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