技术文章您的位置:网站首页 >技术文章 > HMDS真空烘箱,HMDS处理系统的药液泄漏处理方法

HMDS真空烘箱,HMDS处理系统的药液泄漏处理方法

发布时间:2017-06-19   点击次数:2134次

HMDS真空烘箱,HMDS处理系统中HMDS泄漏处理方法

1.在污染区尚未完全清理干净前,限制人员接近该区。
2.确定清理工作是由受过训练的人员负责。
3.穿戴适当的个人防护装备.
4.对该区域进行通风换气。
环境注意事项:抽气通风,移走撤离关闭所有可能之热源、火星、火花与火焰等之引火源与点火装置,若大量泄漏时先将泄漏区围堵避免扩散。
HMDS清理方法:
少量泄漏时:以惰性吸收/吸附材料吸取泄漏物。
大量泄漏时:将泄漏区域围堵,小心地道引将泄漏物抽取回收集桶。

隽思HMDS真空烘箱,HMDS处理系统主要用途:

  在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

HMDS真空烘箱,HMDS处理系统技术参数:

电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率:2200W

温度范围:RT+10℃-250℃

温度分辨率:0.1℃

温度波动度:±1℃

达到真空度:133Pa(1torr)

工作室尺寸(mm):450*450*450,550*550*350(可定做)

隽思HMDS真空烘箱,上海隽思HMDS处理系统特点:

1、预处理性能更好

2、处理更加均匀

3、效率高

4、更加节省药液

5、更加环保和安全   

6、高安全保护性能

a.低液报警装置 

b.可自动吸取HMDS功能, 

c.可自动添加HMDS功能, 

d.HMDS药液泄漏报警功能,

HMDS安全处置与储存方法:
处置:HMDS易产生静电,搬运时将所有设备与容器适当接地,并须固定牢固,避免吸入蒸气及接触眼睛与皮肤。
存储:置于阴凉、干燥、通风处、紧盖容器,远离各种可能之热源、火星、火花与火焰等之引火源与点火装置,避免吸入蒸气及接触眼睛与皮肤。

分享到:

返回列表返回顶部
COPYRIGHT @ 2016 网站地图    沪ICP备16022591号-1   

上海隽思实验仪器有限公司主营产品:无氧化烘箱,精密热风烘箱,晶元烘箱,百级氮气烤箱,无氧烤箱
地址:上海奉贤柘林工业园

中国环保在线

中级会员

中级会员

3

推荐收藏该企业网站