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真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱

真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱

简要描述:

真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化,键合前键合材料的真空处理,ITO膜退火,PR胶排胶固化等特殊工艺。

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 真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱简介:

   真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱是一种定制专用真空烤箱。将高纯度氮气充入烤箱内部,从而置换腔内空气降低氧浓度,来防止部分物料在高温环境下加速氧化的现象。烤箱抽取真空后,充入氮气,再抽取真空,多次循环后可以确保烤箱的工作室处于无氧的状态,避免活性较强的物料在高温有氧的环境下被氧化而损坏。

   无氧真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化,键合前键合材料的真空处理ITO膜退火,PR胶排胶固化等特殊工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业,适用于工厂、高等院校、科研等场所。

真空无氧烘箱,无氧化真空烤箱技术指标:

工作室尺寸(mm)

450×450×450,600×600×600,可定制

箱体材质

内箱采用316L医用级不锈钢,外箱采用优质冷轧板静电喷塑或不锈钢

温度范围

RT+10-300/400/500℃ 

温度分辨率

0.1℃

温度波动度

≤±1℃

升温速率

5℃/min

降温速率

特殊要求数据

真空度

≤133pa或要求数据

电源

AC220V、 380V±10% / 50HZ        

控制仪表

人机界面,可校准温度控制器,PID自整定等功能

搁板层数

不锈钢托盘2层或多层

真空泵

油泵/干泵自选

腔门密封圈

采用耐高温硅橡胶密封圈

状态指示灯

配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态

氧含量

20PPM,可检测,实时显示

洁净度

Class100、1000级

降温系统

风冷+水冷

氮气控制

可程序自动控制

安全保护装置

安全的接地保护装置,超温保护及报警装置,漏电保护装置

 

       上海隽思仪器 专为半导体生产烘烤制程设备定做服务,无氧烤箱,真空无氧化烤箱,无氧真空烘箱,无尘烤箱,无尘无氧烤箱,真空无氧固化烤箱,PI烤箱,洁净烘箱,氮气烤箱,隧道烘炉,HMDS真空烤箱等。

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