真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合前键合材料的真空处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。

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产品详情

真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱简介：

真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱是一种定制真空烤箱。将高纯度氮气充入烤箱内部，从而置换腔内空气降低氧浓度，来防止部分物料在高温环境下加速氧化的现象。烤箱抽取真空后，充入氮气，再抽取真空，多次循环后可以确保烤箱的工作室处于无氧的状态，避免活性较强的物料在高温有氧的环境下被氧化而损坏。

无氧化真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合前键合材料的真空处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。

真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱技术指标：

工作室尺寸（mm）	450×450×450，600×600×600，可定制
箱体材质	内箱采用316L医用级不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑或不锈钢
温度范围	RT+10-300/400/500℃
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	≤±1℃
升温速率	≤5℃/min
降温速率	特殊要求数据
真空度	≤133pa或要求数据
电源	AC220V、 380V±10% / 50HZ
控制仪表	人机界面，可校准温度控制器，PID自整定等功能
搁板层数	不锈钢托盘2层或多层
真空泵	油泵/干泵自选
腔门密封圈	采用耐高温硅橡胶密封圈
状态指示灯	配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态
氧含量	20PPM，可检测，实时显示
洁净度	Class100、1000级
降温系统	风冷+水冷
氮气控制	可程序自动控制
安全保护装置	安全的接地保护装置，超温保护及报警装置，漏电保护装置

上海隽思仪器专为半导体生产烘烤制程设备定做服务，无氧烤箱，真空无氧化烤箱，无氧真空烘箱，无尘烤箱，无尘无氧烤箱，真空无氧固化烤箱，PI烤箱，洁净烘箱，氮气烤箱，隧道烘炉，HMDS真空烤箱等。

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