了解无尘无氧化烤箱各组成部件功能特点才能更好的使用它
更新时间：2025-10-20 点击次数：31次
无尘无氧化烤箱是半导体制造、精密电子、光伏产业、新材料研发等领域中的热处理设备，专为对洁净度与气氛纯度要求高的工艺而设计。
无尘无氧化烤箱通过多重技术手段，实现超净环境、无氧氛围与精准温控，广泛应用于晶圆烘烤、光刻胶固化、薄膜退火、陶瓷烧结等关键工序。
1、不锈钢内胆
采用316L或更高规格的镜面抛光不锈钢（Ra≤0.4μm），表面致密光滑，不易吸附微粒，耐腐蚀性强。内胆无缝焊接，减少死角，便于清洁，有效防止颗粒污染与金属离子析出，确保腔体长期洁净。
2、高效过滤系统（HEPA/ULPA）
配备H13-H14级HEPA或U15-U17级ULPA超高效过滤器，过滤效率达99.99%（0.3μm）以上。通过强制循环风系统，持续净化腔内空气，维持ISOClass3-5级（百级至千级）洁净度，杜绝微粒污染。
3、惰性气体保护系统
集成氮气（N）、氩气（Ar）或混合气体管路，可实现腔体正压保护。通过高精度流量计与电磁阀，自动控制气体充入、置换与维持，将氧含量降至1ppm以下，有效防止高温下材料氧化、变色或性能劣化。
4、真空系统
配备机械泵或分子泵，可抽至高真空（≤10Pa），排除空气与水分。适用于对残余气体敏感的工艺，如金属薄膜退火、高纯材料烧结，确保材料纯净度。
5、循环风道与均流设计
采用侧吹或顶吹式循环风道，配合导流板与均流网，实现腔内气流均匀分布。避免局部过热或温差过大，确保±1℃以内的高精度温度均匀性，提升工艺一致性。
6、智能温控系统
搭载PID或模糊控制算法，通过高精度热电偶（K型或S型）实时监测温度。可编程多段升温曲线，支持Ramp-Soak控制，升温速率、恒温时间、降温模式灵活设定，满足复杂工艺需求。
7、加热元件
采用远红外石英加热管、陶瓷加热器或不锈钢铠装电热丝，表面不产尘、不氧化。加热元件置于腔体外部或独立风道内，避免直接辐射污染样品，确保加热过程洁净无污染。
8、观察窗与照明系统
配备双层或三层真空玻璃观察窗，外层钢化，内层硼硅酸盐，隔热防爆。内置LED冷光源照明，可在不开启箱门的情况下实时观察样品状态，减少污染风险。
