洁净烤箱广泛应用于半导体、生物医药、精密电子及实验室等领域,用于干燥、固化、灭菌或热处理对洁净度和温控精度要求高的物料。其核心价值不仅在于加热,更在于洁净+稳定。若缺乏系统性维护,易出现温度漂移、颗粒污染、密封失效或控制系统失灵等问题,直接影响产品良率与实验结果。建立
洁净烤箱的科学定期保养制度,是保障设备长期可靠运行的关键。

一、日常使用后基础保养(每次使用后)
腔体清洁:待箱体冷却至室温后,用无尘布蘸取去离子水或75%酒精擦拭内胆、搁板及门封,清除残留物,严禁使用腐蚀性清洁剂;
检查过滤器:HEPA/ULPA高效过滤器表面若有明显积尘,可用吸尘器低档轻吸(勿水洗),记录压差变化;
关闭电源并通风:长时间不用时,开启箱门自然通风30分钟,防止湿气凝结。
二、每周/每月例行维护
校验温度均匀性:使用经校准的多点温度记录仪,验证工作区内温差是否≤±1℃(依工艺要求);
检查门封与锁扣:确保硅胶门封无老化开裂,关门后无缝隙,锁紧机构灵活可靠;
清理排气口与风机滤网:防止灰尘堵塞影响换气效率与正压维持。
三、每季度深度保养
更换高效过滤器:根据使用频率与压差监测(通常压差>250Pa需更换),按规范更换HEPA/ULPA滤芯,并做检漏测试(如PAO/DOP法);
校准温控传感器:使用标准铂电阻对PT100探头进行比对校准,偏差超±0.5℃需调整或更换;
检查加热元件与风道:确认加热管无氧化断裂,循环风机运转平稳无异响,风道无积尘。
四、年度专业维护
整机性能验证:委托第三方机构进行温度均匀性、升降温速率、洁净度(ISOClass5/6)等综合测试;
电气系统检测:检查固态继电器、接触器触点磨损情况,紧固接线端子;
软件/固件升级:更新控制程序以修复漏洞或提升功能(如数据导出、报警逻辑优化)。