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掌握洁净烤箱科学排障方法是保障生产连续性与产品质量的核心
202511-24

洁净烤箱作为半导体、生物医药及精密制造领域关键的热处理设备,对温度精度、洁净度与运行稳定性要求高。一旦出现升温慢、温度不均、超温报警、颗粒超标或门封漏气等问题,轻则影响工艺一致性,重则导致整批产品报废。掌握洁净烤箱的科学排障方法,是保障生产连续性与产品质量的核心。问题一:升温速度慢或无法达到设定温度原因:加热管老化、循环风机故障、电压不足或腔体密封不良。对策:检查加热管是否发红均匀,若局部不热需更...

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  • 双腔式PI固化炉操作步骤双腔式PI固化炉即具有两个工作室的PI固化炉,可同时运行也可独立操作。不仅具有单腔固化炉的所有功能,而且还能够使用不同的生产工艺。排气等管道合二为一,节约能源,更加环保;双腔式占地面积更小,节约空间;还可批量生产,提...

    2023-10-26

  • 每个半导体产品的制造都需要数百个工艺,整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。然而在这数百个工艺中有数道需要烘烤工艺,而且每个烘烤工艺不是相同,所以需要的烘烤设备也有差异。精密氮气烘箱可用于一以下工...

    2023-10-26

  • -150度的超低温试验箱采用先进的复叠制冷技术,以多元混合工质作为制冷剂。极大地简化了制冷系统的结构,降低了初投资成本,减小系统运行能耗,提高系统可靠性。制冷系统采用精馏的方法巧妙的完成了润滑油与混合工质的高效分离,保证系统在低温段不出现油...

    2023-10-26

  • 晶元烘箱是一种高精度的烘烤设备,广泛应用于电子、半导体、光学、新能源等领域。随着科技的不断发展,相信它在未来还将发挥更加重要的作用。本文将重点分析晶元烘箱的应用领域以及其优势。一、应用领域在电子行业中,晶元烘箱被广泛用于烘烤芯片、电子元件等...

    2023-10-20

  • 光刻加工中涂布后,所得的抗蚀剂膜将包含20-40%重量的溶剂。后涂覆烘烤工艺,也称为软烘烤或预烘烤,涉及在旋涂之后通过除去该过量溶剂来干燥光致抗蚀剂。减少溶剂含量的主要原因是使抗蚀剂膜稳定。在室温下,光刻加工未烘烤的光致抗蚀剂膜将通过蒸发而...

    2023-10-07

  • HMDS烘箱在第三代半导体材料中的工艺第三代半导体是以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)为代表的宽禁带(禁带宽度Eg2.3eV)的半导体材料。其中又以SiC和GaN为最核心的材料。然而这些新材料衬...

    2023-10-07

  • 高温无氧化烤箱又称为无氧化烘烤箱或高温烘箱,是一种在烘焙过程中有效减少甚至消除氧化的关键设备。具有节能、精确的温度控制、有效的抗氧化保护和多功能性等特点。厌氧烤箱是用来在半导体芯片制造前段制程中旋涂工艺(即涂布工艺)时,进行无氧烘箱、洁净无...

    2023-09-21

  • 固化烤箱是一种关键的工艺设备,广泛应用于各行各业,特别是在涂装、胶粘剂固化和塑料制品加工等领域。它通过控制温度和时间来完成材料的固化过程,从而提高产品的质量和性能。1、在涂装行业起着至关重要的作用。在涂装过程中,涂料需要通过固化来形成坚固的...

    2023-08-22

  • 无尘无氧化烤箱是一种高级的烤箱技术,旨在实现无尘和无氧化的环境,以确保食品的质量和安全。它的原理主要包括以下几个方面:过滤系统:配备了高效的过滤系统,通常包括多层过滤器和循环风扇。这些过滤器能够有效地捕获和过滤掉空气中的微尘、细菌、烟雾和其...

    2023-07-20

  • 铌酸锂具有出色的光电特性,作为一种集成光子平台,受到广泛关注。在此基础上,各种功能光子器件,如电光调制器和非线性波长转换器,已经展现出令人瞩目的性能。与此同时,基于铌酸锂薄膜的激光器和放大器作为集成光子系统的重要组成部分,也取得了一系列令人...

    2023-07-06

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